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基于共焦显微镜的三维激光测量技术

时间：2011-12-31 22:27:12  来源： 打印本文

基于共焦显微镜的三维激光测量技术

2005/6/1/8:22    目前尚没有一种非接触式测量技术可实现0～±90°范围的三维测量，采用基于微光学的组合式测头构成三维测量传感器，其中每一个子测头都覆盖一定的测量区域(大于30°)。这样，多个子测头形成球形阵列，就可实现0～±90°范围的三维轮廊和三维坐标测量，子系统可采用不同的原理，如绝对测距式及共焦显微镜式等。

    光从点光源发出，此光束成像在物镜的物方共轭平面上(第一次聚焦)。若被测表面刚好处于聚焦点处，则该像点又被成像到物镜的像方共轭平面--接收器的小孔上(第二次聚焦)。如果被测表面在轴向上偏离成像点即"焦面"处(内向偏离或外向偏离)，则经物镜返回到像方共轭平面上的光便会被挡在接收器小孔之外。从接收器获得的光强变化看，光学系统在向被测表面逼近的过程中，接收器上接收到的光强可经历了一个从无到有、从弱到强、再变弱直到无的过程。这样，便可根据判断光强的最大值来确定光学探头在被测表面瞄准的位置。