垂直腔面发射激光器的结构

2005/2/3/11:10　　垂直腔面发射激光器有很多种结构，如金属镜面结构、外延多层布拉格反射器(DBR)结构、介质镜面结构、空气柱折射率导引结构、离子注入导引结构、无源反波导区结构、钨丝轰击结构、倒台面结构、湿法氧化结构，桥结构等等。实质上，其主要结构分为两部分：中心是有源区，它有体异质结和量子阱两种结构；其侧相结构有增益导引和环形掩埋异质结之分。有源区上下是反射器。下面主要以半导体MQW DBR结构的VCSEL来介绍一般VCSEL结构。

　　VCSEL的基本结构是对称的，光轴是半导体晶体外延生长方向，光和电流方向是平行的。位于有源区上下层的两个反射镜分别是由p型和n型DBR堆组成的布拉格反射器，有源区由多量子阱组成，常见的有圆形、方形、和环形结构，分别在衬底和p型DBR上制成一个圆形光输出窗口。可采用顶端或底端输出，输出近圆形的激光束，以便汇聚成细光束。圆形模式易于与光纤耦合。